檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Zone-Ching Lin".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="單晶碳化矽基板"
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單晶碳化矽晶圓在LED照明及高功率元件市場的潛力極大,目前單晶碳化矽晶圓的製造過程面臨許多挑戰,其最重要為碳化矽之高硬度及高抗化學性特性造成在化學機械拋光(Chemical Mechanical P…